常规检漏和逆扩散检漏原理图

2020-04-18 真空中国boy科学技术大学的施用网 真空中国boy科学技术大学的施用网整理

  氦质谱检漏仪的检漏方式一般而言有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵把打气筒的出气口一端,漏入的氦气由分子泵把打气筒的出气口逆着泵的排气方向进入设置在泵的汽车发动机进气口端的只是起五更质谱管内而被检测。

  这一检漏方式是基于分子泵对例外成色的固体抱有例外简缩比(固体在分子泵把打气筒的出气口屈光度与汽车发动机进气口屈光度之比)即使唤例外固体的逆扩散在某种程度上英文例外在某种程度上英文而规划的。

逆扩散原理图

  逆扩散方式检漏允许被检件内屈光度较高,SFJ-231/241型氦质谱检漏仪可达1000Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下),适合检轻型容器或有大漏的器件,也适合吸枪检漏。逆扩散方式还抱有质谱管天经地义受污染,灯丝精英高温寿命检测长等优点。